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Low-Temperature ALD of SbOx/Sb2Te3 Multilayers with Boosted Thermoelectric Performance
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Research Paper
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创造者
Axel Lubk
1
Fabian Krahl
1
Jochen Geck
1
Jun Yang
1
Kornelius Nielsch
1
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创造者s
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Contributor
Nano Micro Small
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1
关键词
Atomic layer deposition
1
Interface engineering
1
学科
Engineering
1
出版者
Wiley
1
采集
Jio Institute Research Publication Archive
1
