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Low-Temperature ALD of SbOx/Sb2Te3 Multilayers with Boosted Thermoelectric Performance
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Research Paper
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Schöpfer
Axel Lubk
1
Fabian Krahl
1
Jochen Geck
1
Jun Yang
1
Kornelius Nielsch
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Contributor
Nano Micro Small
1
Stichwort
Atomic layer deposition
1
Interface engineering
1
Fach
Engineering
1
Herausgeber
Wiley
1
Sammlung
Jio Institute Research Publication Archive
1
